IC China2019丨上海新微技术研发中心鲁臻:搭建公共研发平台加快“超越摩尔”领域创新

中国电子报|2019-09-10 11:16:49
作者:徐恒 来源:中国电子报、电子信息产业网

编者按:第二届全球IC企业家大会于9月3日-5日在上海举办。大会期间,长三角集成电路产业公共服务平台研讨会暨长三角公共服务机构联盟揭牌仪式于9月4日举行。研讨会由上海市集成电路行业协会承办,江苏省半导体行业协会、浙江省半导体行业协会、合肥市半导体行业协会合办。会上,长三角公共服务机构联盟正式揭牌成立,并通过了联盟章程,确定了联盟成员。业界专家在会上发表了精彩观点。


上海新微技术研发中心有限公司市场部副总监鲁臻:

搭建公共研发平台加快“超越摩尔”领域创新

鲁臻所在的上海微技术工业研究院(SITRI)成立于2013年,是集研发、工程、产业化于一体的新型研发机构。作为上海科创中心建设的“四梁八柱”和上海市首家研发与转化功能型平台,SITRI参考国际先进工业研究院的创新模式,通过公司制注册、市场化运作、基础研发设施投入、全球一流人才引进和产业广泛对接等措施,不断降低产业研发成本,缩短产品开发周期,在促进创新创业的同时,逐步探索出一条自身造血、可持续发展的道路。

SITRI的“超越摩尔”8英寸研发中试线作为国内首条工艺研发平台于2017年9月正式启动运行,现已建成6个器件工艺平台。截至2019年7月底,该中试线累计服务中试和研发客户38家,代表产品16个。8英寸研发中试线覆盖CMOS中、后道工艺及MEMS特殊工艺,提供产品的研发和小批量生产。平台具有MEMS、AlN、硅光、微流控、生物光电子等工艺和评价设备,大大提升产品研发的成功率,实现从研发到量产无缝衔接,打造高效的“超越摩尔”技术研发中试平台。

目前,SITRI建立了设计服务平台,该平台主要以MEMS传感器、硅光、模拟、射频、存储器、功率器件、SOI、生物光电子工艺平台等为核心,提供从电子建模、产品设计、PDK优化、工艺/流片、封测及IP布局等全流程“一条龙”服务,为“超越摩尔”领域的创新创业提供低成本、低风险和高附加值的技术支持,加快产品面世,缩短技术迭代周期。

此外,SITRI还建立了工程测试平台。SITRI工程测试平台面向“超越摩尔”及物联网领域企业,依托先进的分析测试设备、自主开发的EDA软件以及具有丰富经验的国际化团队,提供MEMS晶圆及成品测试、IGBT模块测试等技术支持,及电子产品分析、工艺分析、电路分析、专利分析、知识产权和产业咨询等咨询服务。

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